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原子層蝕刻技術從實驗室走入晶圓廠


延長摩爾定律的工...

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原子層蝕刻技術從實驗室走入晶圓廠


延長摩爾定律的工作將越來越依賴高精密製程技術以製作出具有高品質薄膜表面的微小元件。在小於14奈米的技術節點中,電晶體的性能非常容易受到的製程變異的影響,會造成漏電流升高及電池耗電的現象。針對這些挑戰我們可以預期在未來的10年內,電晶體的柵極尺寸將低於50個原子寬度,特徵尺寸的變異將以原子等級的尺度測量,包括表面粗糙度的影響。原子層製程技術是最有機會達到這一精度等級的技術。原子層沉積(atomic layer deposition, ALD)在半導體產業中已經在生產線上存在了十多年。然而與其相對應的製程,也就是原子層蝕刻技術(atomic layer etching, ALE)卻難以成熟,原因在於它的生產能力還不足以達到所需的成本效益,此外商業化的設備系統也還沒有推出市場。本文我們將提出一種以商用電漿反應器開發的電漿增強ALE,可提供原子級的精準度並適合大量生產的元件製程技術......


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《北美智權報》於2007年5月30日創刊,為北美智權股份有限公司 (www.naipo.com) 及北美聯合專利商標事務所所共同創立的智權專利相關專業電子報。在創立之初,《北美智權報》只針對北美智權及北美聯合2家公司的客戶,提供國內外專利、商標等等智財權相關的最新資訊及法規變動狀況;然而,隨著北美智權報編輯團隊的持續耕耘及國內業者對智權及專利的保護意識日漸抬頭,北美智權報受關注的程度也與日俱增,而北美智權報的讀者範圍也越來越廣,早已跳脫單純提供客戶專利資訊的範疇,躍升為業內具領導地位的智權專利相關專業媒體。 在發行人許鍾光(北美智權總經理)帶領下,北美智權報除了智權專利相關之報導及議題探討外,也肩負起相當的社會責任,以協助打造適合產業創新的環境為己任,並在此一使命下發表許多探討政府產業政策之文章。 為了滿足讀者之需求,《北美智權報》於2011年11月從每月發行一期改為雙周發行,截到2015年10月為止,已發行144期、每月固定發行近15,000份,讀者遍及產、官、學、研各不同領域,於專利業界有相當深遠的影響力。2012年2月14日,北美智權報粉絲團正式成立,在努力耕耘下,於2015年初,粉絲人數突破一萬人。 2015年,除了對北美智權報意義重大外,對北美智權股份有限公司更是意思非凡。 首先,北美智權於2015年邁入成立20周年的里程碑。20年來北美智權已從一個台灣在地的美國專利事務所,逐漸轉變躍升為今日以電子送件、專業管理服務的全方位專利申請公司,在過去20年的歲月中,北美智權已成功協助台灣多家知名高科技企業在世界各地運用智財專利保護他們的產品。 另外一件讓人鼓舞的事,是北美智權於2014年12月30日推出的「PVIGO專業服務網」(www.pvigo.com),於2015年正式全面投入服務,除了讓北美智權之服務更上層樓外,也為台灣專利業界的電子商務領域揭開了嶄新的一頁。
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